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產品名稱： 半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修簡要描述： 半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修.Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性能。更新時間： 2024-10-28瀏覽次數： 1634
產品介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一周 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子 |
半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修.Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性能。
iH 系列真空泵為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠xing。通常情況下在使用螺桿泵時，應定期的對螺桿泵進行檢查，發(fā)現故障要及時維修。般螺桿泵檢修主要有小修和大修之分，螺桿泵小修的檢查周期用在6個月左右，大修的檢查周期應在24個月。根據螺桿泵運行狀況及狀態(tài)監(jiān)測結果可適當調整檢修周期。
半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修前準備在檢修螺桿泵前應做好以下準備工作。
①掌握運行情況，備齊必要的圖紙資料。
②備齊檢修工具、量具、配件及材料。
③切斷電源及設備與系統(tǒng)聯(lián)系，內部介質冷卻、吹掃、置換干凈，符合安全檢修條件。
螺桿泵的拆卸與檢查
拆卸螺桿泵時應按以下步驟進行。
①檢查電動機電源；電源應斷開，并將電源開關上鎖。檢查出、人口閥門關閉情況，若沒有關閉，應關緊。
②松開電動機與泵軸之間的聯(lián)軸器的連接螺栓，卸下聯(lián)軸器。
③拆卸檢查同步齒輪。
對于單螺桿泵或三螺桿泵，拆卸泵后端蓋，檢查墊片、止推墊片、軸承、軸向定位塞。
對于雙螺桿泵，拆卸泵后端蓋，拆卸檢查軸承及密封。
④拆卸前端蓋，拆卸檢查主、從動螺稈及密封。
⑤必要時更換端蓋與泵體之間墊片。
半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修，超長保固期。
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